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Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀

簡(jiǎn)要描述:使用 4200A-SCS參數(shù)分析儀(參數(shù)測(cè)試儀)加快各類(lèi)材料、半導(dǎo)體器件和工藝的開(kāi)發(fā),完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是業(yè)內(nèi)性能電學(xué)特性參數(shù)分析儀,提供同步電流電壓曲線測(cè)試 (I-V曲線測(cè)試)、電容-電壓曲線測(cè)試 (C-V曲線測(cè)試) 和超快脈沖 I-V曲線測(cè)量。使用4200A-SCS 參數(shù)分析儀進(jìn)行1/f 電流噪聲測(cè)量直播回放:寬禁帶半導(dǎo)體材料及功率半導(dǎo)體器件測(cè)試方案直播回放:1/f噪聲測(cè)試方案詳解在您的 PC 上免費(fèi)試用。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2023-12-07
  • 訪  問(wèn)  量:455

詳細(xì)介紹

參數(shù)查看,快速清晰。

推進(jìn)大膽發(fā)現(xiàn)從未如此容易。4200A-SCS 參數(shù)分析儀從設(shè)置到運(yùn)行檢定測(cè)試的時(shí)間減少高達(dá) 50%,從而實(shí)現(xiàn)的測(cè)量和分析能力。此外,嵌入式測(cè)量專(zhuān)業(yè)知識(shí)提供的測(cè)試指導(dǎo),并讓您對(duì)最終結(jié)果充滿信息。

特點(diǎn)

  • 用于 DC IV、CV 和脈沖 IV 測(cè)量類(lèi)型的高級(jí)測(cè)量硬件
  • 立即使用 Clarius 軟件中所含的數(shù)百種用戶可修改應(yīng)用程序測(cè)試開(kāi)始測(cè)試
  • 自動(dòng)實(shí)時(shí)參數(shù)提取、數(shù)據(jù)繪圖、分析函數(shù)

準(zhǔn)確的 C-V 表征

使用吉時(shí)利的電容-電壓?jiǎn)卧?(CVU) 4215-CVU 測(cè)量一位數(shù)飛法。通過(guò)將 1 V AC 電源集成到吉時(shí)利行業(yè)的 CVU 架構(gòu)中,4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的頻率下進(jìn)行低噪聲電容測(cè)量。

特點(diǎn)

  • 同類(lèi)產(chǎn)品中能夠驅(qū)動(dòng)1 V AC 電源電壓的 CV 表
  • 1 kHz 頻率,分辨率從1 kHz 到 10 MHz
  • 測(cè)量電容、電導(dǎo)和導(dǎo)納
  • 使用 4200A-CVIV 多路開(kāi)關(guān)最多可測(cè)量四個(gè)通道

使用 4215-CVU 進(jìn)行 Femtofarad (1e-15F) 電容測(cè)量

測(cè)量、 切換、 重復(fù)。

4200A-CVIV 多通道切換模塊自動(dòng)在 I-V 和 C-V 測(cè)量之間切換,無(wú)需重新布線或抬起探頭端部。 與競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品不同,四通道 4200A-CVIV 顯示器提供本地可視查看,可快速完成測(cè)試設(shè)置,并在出現(xiàn)意想不到的結(jié)果時(shí)輕松排除故障。

特點(diǎn)

  • 無(wú)需重新布線即可將 C-V 測(cè)量移動(dòng)到任何設(shè)備終端
  • 用戶可配置低電流功能
  • 個(gè)性化輸出通道名稱(chēng)
  • 查看實(shí)時(shí)測(cè)試狀態(tài)

穩(wěn)定的低電流測(cè)量,適用于 I-V 檢定

使用 4201-SMU 和 4211-SMU 模塊,您可以在高電容系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的低電流測(cè)量。4200A-SCS 有四種型號(hào)的源測(cè)量單位 (SMU) 可供選擇,可通過(guò)定制滿足您所有的 I-V 測(cè)量需求。通過(guò)提供現(xiàn)場(chǎng)可安裝單元和可選的預(yù)放大器模塊,Keithley 可確保您獲得最準(zhǔn)確的低電流測(cè)量,而停機(jī)時(shí)間很少甚至沒(méi)有。

特點(diǎn)

  • 不必將儀器送回工廠即可增加 SMU
  • 進(jìn)行 飛安測(cè)量
  • 多達(dá) 9 個(gè) SMU 通道
  • 針對(duì)長(zhǎng)電纜或大卡盤(pán)進(jìn)行了優(yōu)化

帶分析探測(cè)器和低溫控制器的集成解決方案

4200A-SCS 參數(shù)分析儀支持許多手動(dòng)和半自動(dòng)晶片探測(cè)器和低溫控制器,包括 MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低溫控制器。

特點(diǎn)

  • “點(diǎn)擊"測(cè)試定序
  • “手動(dòng)"探測(cè)器模式測(cè)試探測(cè)器功能
  • 假探測(cè)器模式無(wú)需移除命令即可實(shí)現(xiàn)調(diào)試

降低成本并保護(hù)您的投資

吉時(shí)利保障計(jì)劃以按需服務(wù)事件的一小部分成本提供快速、高質(zhì)量的服務(wù)。 只需點(diǎn)擊一下或一個(gè)電話即可獲得維修服務(wù),在此過(guò)程中,無(wú)需報(bào)價(jià)或填寫(xiě)采購(gòu)單,也不會(huì)有審批延誤。

了解詳情

 

產(chǎn)品技術(shù)資料 型號(hào) 描述 價(jià)格
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4200A-SCS-PKA
高分辨率 IV 套件
4200A-SCS:參數(shù)分析儀主機(jī)
4201-SMU:兩個(gè)用于高容量設(shè)置的中功率 SMU
4200-PA:一個(gè)預(yù)放大器
8101-PIV:一個(gè)帶有采樣裝置的測(cè)試夾具
索取報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4200A-SCS-PKB
高分辨率 IV 和 CV 套件
4200A-SCS:參數(shù)分析儀主機(jī)
4201-SMU:兩個(gè)用于高容量設(shè)置的中功率 SMU
4200-PA:一個(gè)預(yù)放大器
4215-CVU:一個(gè)高分辨率多頻 C-V 單元
8101-PIV:一個(gè)帶有采樣裝置的測(cè)試夾具
索取報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4200A-SCS-PKC
高功率 IV 和 CV 套件
4200A-SCS:參數(shù)分析儀主機(jī)
4201-SMU:兩個(gè)用于高容量設(shè)置的中功率 SMU
4211-SMU:兩個(gè)用于高容量設(shè)置的高功率 SMU
4200-PA:兩個(gè)預(yù)放大器
4215-CVU:一個(gè)高分辨率多頻 C-V 單元
8101-PIV:一個(gè)帶有采樣裝置的測(cè)試夾具
索取報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4200-BTI-A
超快 NBTI/PBTI 套件
用于使用硅 CMOS 技術(shù)進(jìn)行的復(fù)雜 NBTI 和 PBTI 測(cè)量 4200-BTI-A 套件包括:
  • 1 個(gè) 4225-PMU 超快 I-V 模塊
  • 2 個(gè) 4225-RPM 遠(yuǎn)程預(yù)放大器/開(kāi)關(guān)模塊
  • 自動(dòng)化檢定套件 (ACS) 軟件
  • 超快 BTI 測(cè)試項(xiàng)目模塊
  • 布線
索取報(bào)價(jià)

生物傳感器檢定

生物傳感器或 bioFET 將對(duì)分析物的生物響應(yīng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。集成到 4200A-SCS 中的 Clarius 軟件包括一個(gè)用于測(cè)試 bioFET 的項(xiàng)目。以此為起點(diǎn)檢定生物傳感器的傳輸和輸出特性,并從這里展開(kāi)工作。

下載生物傳感器應(yīng)用指南以開(kāi)始使用

飛法電容測(cè)量

使用 4215-CVU 模塊測(cè)量亞毫微微法拉電容。通過(guò)驅(qū)動(dòng) 1 V AC,在測(cè)量 1 fF 電容器時(shí),4215-CVU 的噪聲水平可低至 6 attofarad。這只是 Clarius 軟件隨附的用于測(cè)量電容和提取重要參數(shù)的數(shù)十種應(yīng)用程序之一。

使用 4215-CVU 進(jìn)行 Femtofarad (1e-15F) 電容測(cè)量

進(jìn)行電容和交流阻抗測(cè)量

特點(diǎn)

  • 內(nèi)置飛法測(cè)量功能
  • 從 1kHz 到 10MHz 的 10,000 個(gè)頻率步進(jìn)
  • 使用用戶庫(kù)定制任何設(shè)備的任何測(cè)試

半導(dǎo)體和 NVM 可靠性

通過(guò)全面脈沖 I-V 檢定在測(cè)試中利用新技術(shù)。 4200A-SCS 為 NVRAM 技術(shù)提供支持和即用型測(cè)試,從浮動(dòng)門(mén)電路閃存到 ReRAM 和 FeRAM,不一而足。 電流和電壓雙源和測(cè)量功能同時(shí)支持瞬態(tài)和 I-V 域檢定。

評(píng)估 MOSFET 設(shè)備的熱載波感應(yīng)劣化

用于非易失內(nèi)存測(cè)試的單納秒脈沖解決方案

非易失內(nèi)存技術(shù)脈沖 I-V 檢定

提供適合高阻抗應(yīng)用的 C-V 測(cè)量功能

采用 Keithley 的自定義極低頻 C-V 技術(shù)分析高電阻樣本的電容。 該技術(shù)可通過(guò)僅使用源測(cè)量單元 (SMU) 儀器實(shí)現(xiàn)應(yīng)用,同時(shí)可與 4210-CVU 結(jié)合使用,執(zhí)行更高頻率測(cè)量。

4200A-SCS 參數(shù)分析儀可在高阻抗設(shè)備上執(zhí)行極低頻電容-電壓測(cè)量

簡(jiǎn)化 MOSFET/MOSCAP 設(shè)備檢定的提示和技術(shù)

特點(diǎn)

  • .01 ~ 10 Hz 頻率范圍,1 pF ~ 10 nF 靈敏度
  • 3? 位典型分辨率,最小典型值 10 fF

使用長(zhǎng)電纜或電容式夾具時(shí)進(jìn)行測(cè)試

當(dāng)測(cè)試需要非常長(zhǎng)的電纜或具有較高電容的夾具時(shí),請(qǐng)使用 4201 或4211-SMU。這些 SMU 非常適合連接 LCD 測(cè)試站、探測(cè)器、開(kāi)關(guān)矩陣或任何其他大型或復(fù)雜的測(cè)試儀。現(xiàn)場(chǎng)可安裝版本使您無(wú)需將設(shè)備返回服務(wù)中心即可增加容量。

使用 4201-SMU 和 4211-SMU,通過(guò)高測(cè)試連接電容進(jìn)行穩(wěn)定的低電流測(cè)量

材料電阻率

使用集成了 SMU 的 4200A-SCS,可通過(guò)四點(diǎn)同軸探頭或范德堡法輕松測(cè)量電阻率。 內(nèi)含測(cè)試可自動(dòng)重復(fù)執(zhí)行范德堡計(jì)算,節(jié)省您寶貴的研究時(shí)間。 10aA 的電流分辨率和大于 10----16 歐姆的輸入阻抗可提供更準(zhǔn)確和精準(zhǔn)的結(jié)果。

4200A-SCS 參數(shù)分析儀和四點(diǎn)同軸探頭可用于執(zhí)行半導(dǎo)體材料電阻率測(cè)量

4200A-SCS 參數(shù)分析儀可用于執(zhí)行范德堡和霍爾電壓測(cè)量

MOSFET 檢定

4200A-SCS 可容納所有必要的儀器,用于通過(guò)組件或晶圓測(cè)試執(zhí)行全面的 MOS 設(shè)備檢定。 內(nèi)含測(cè)試和項(xiàng)目可以解決 MOSCap 的氧化物厚度、門(mén)限電壓、摻雜濃度、移動(dòng)離子濃度等問(wèn)題。 只需觸摸一個(gè)儀器盒中的按鈕,即可運(yùn)行所有這些測(cè)試。

4200A-SCS 參數(shù)分析儀可用于執(zhí)行 MOS 電容 C?V 檢定

產(chǎn)品技術(shù)資料 模塊 描述 配置和報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4200-SMU 中功率源測(cè)量單位 配置和報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4200-BTI-A 超快速 BTI 包 配置和報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4200-PA 遠(yuǎn)程預(yù)放大器模塊 配置和報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4200A-CVIV IV CV測(cè)試切換開(kāi)關(guān) 配置和報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4201-SMU 中功率源測(cè)量單元 配置和報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4210-SMU 大功率源測(cè)量單元 配置和報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4211-SMU 高功率源測(cè)量單元 配置和報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4215-CVU 電容電壓CV測(cè)量單元 配置和報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4220-PGU 高電壓脈沖發(fā)生器單元 配置和報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4225-PMU 超快速脈沖IV測(cè)量單元 配置和報(bào)價(jià)
查看產(chǎn)品技術(shù)資料 4225-RPM 遠(yuǎn)程預(yù)放大器/開(kāi)關(guān)模塊 配置和報(bào)價(jià)

從實(shí)驗(yàn)室到晶圓廠的自動(dòng)化控制

Keithley 自動(dòng)化檢定套件 (ACS) 可控制您的設(shè)備。無(wú)論您是需要控制工作臺(tái)上的幾臺(tái)儀器,還是需要自動(dòng)化整個(gè)測(cè)試機(jī)架以進(jìn)行生產(chǎn),ACS 均能為設(shè)備檢定、參數(shù)測(cè)試、可靠性測(cè)試和簡(jiǎn)單的功能測(cè)試提供靈活的交互式環(huán)境。

  • 執(zhí)行簡(jiǎn)單的一次性測(cè)試或構(gòu)建復(fù)雜的項(xiàng)目樹(shù)
  • 在 ACS 中使用 Python 編寫(xiě)代碼以獲得無(wú)限靈活性和控制力
  • 手動(dòng)或自動(dòng)晶圓探測(cè)器控制
  • 數(shù)據(jù)管理和統(tǒng)計(jì)分析功能

開(kāi)始自動(dòng)化

Clarius+ 分析套件

通過(guò) Clarius+ 軟件套件,您可以輕松獲得材料和設(shè)備的檢定洞察。Clarius 在 4200A-SCS 上本地運(yùn)行,可規(guī)劃、配置和分析測(cè)試結(jié)果。此外,還可將 Clarius 安裝在任何 Windows 10 PC 上,以便在實(shí)驗(yàn)室中運(yùn)行測(cè)試之前規(guī)劃和配置測(cè)試,或在收集數(shù)據(jù)后分析數(shù)據(jù)。

  • 200 多項(xiàng)預(yù)先配置的測(cè)試,可加速實(shí)驗(yàn)室運(yùn)轉(zhuǎn)
  • 由 Keithley 工程師精心收集的真實(shí)數(shù)據(jù)
  • 內(nèi)置上下文幫助和應(yīng)用程序指南
  • 提供監(jiān)控模式,可實(shí)時(shí)查看結(jié)果

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